簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "interference".ekeyword (精準) and ckeyword.raw="調變干涉顯微術"


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    相位干涉用於微奈米級之量測
    • 機械工程系 /95/ 碩士
    • 研究生: 邱吉豪 指導教授: 曾垂拱
    • 以往相位量測法,常用於表面緩慢變化的量測,如平坦度的檢測,而對有階級差的表面,受限於不是連續性的變化,因此不易進行。 本研究內容利用現有的設備建構一組改良式麥克森干涉儀,同時將光學顯微鏡與相位量測相…
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